日本MEG對齊單元

深圳納加霍里科技專業(yè)代理銷售日本MEG對齊單元X9113-C 產品特點如下：

日本MEG對齊單元X9113-C用于精密機械/光學設備的定位校準（如半導體設備、顯微鏡等），具備高精度位移控制（微米/納米級）或角度調整功能。

特長小型鉚接型機身口30mm凝聚鉚接所需的功能，緊湊節(jié)省空間，高速運行，備有帶馬達型號、外部驅動型號，此外，還可以選擇主體安裝方式和鰭片形狀等。

扭力類型長沖程可對應廣泛用途，備有帶馬達型號、外部驅動型號，小型緩沖類型主體□30mm濃縮緩沖必要的功能，緊湊節(jié)省空間，高速運行，備有帶馬達型號、外部驅動型號，此外，還可以選擇主體安裝方式和鰭片形狀等，緩沖類型長沖程，適用于各種用途，備有帶馬達型號、外部驅動型號。

備有本體安裝部形狀、指狀物形狀、驅動方式等多種種類，提供多種驅動方式可供選擇。

不能改變指狀物的數量，沖程可以根據脈沖數而改變，（帶電機的型號）5速度可通過運行頻率、加減速時間的設定進行變更（馬達型號）。

在狹小空間也能發(fā)揮高精度定位的定位單元和開發(fā)的小型對準單元，控制身體寬度的苦心設計，即使在小沖程輸送的狹小空間內也能實現精確的工件定位。

小型指狀物配置于機身頂部，本體安裝，利用本體背面的M2抽頭。

小型A型I指狀物配置在機身上面，主體安裝從主體上面用M3螺絲擰緊，還準備了實現閉環(huán)的STEP 。

小型AP型I被配置在實體側面，實體安裝從實體上面用M3螺絲擰緊，還準備了可實現閉環(huán)的 STEP馬達。

以小型高精度重復精度高的凸輪為基礎，鉚釘采用無背襯機構，緩沖器具有彈簧中央緩沖器功能，可進行高精度定位，輕巧、不別扭的工作通過采用無限軌道線性導軌，實現輕快、不別扭的工作，具有良好的高速響應能力，高速定位利用步進電機和小慣性凸輪機構，定位響應速度可達0.1sec（全行程）

小而長壽命簡單且不給鰭片驅動部過載的結構，因此具有出色的耐久性，是可以長期使用的高經濟性對準單元。

通過無沖擊動作步進的加減速控制，即使高速也能實現柔和的定位，吹氣端口本體設有M5端口孔，通過吹干空氣，防止異物從本體上部角孔侵入。

對齊單元X9113-C介紹

基本功能

用于精密機械/光學設備的定位校準（如半導體設備、顯微鏡等）。

具備高精度位移控制（微米/納米級）或角度調整功能。

技術參數

精度：±0.1 μm 或更高（取決于應用場景）。

行程范圍：線性或旋轉式，具體數值需確認。

驅動方式：壓電陶瓷、伺服電機或手動微調。

兼容性：可能支持標準接口（如ISO法蘭、螺紋孔位）。

應用領域

半導體制造（光刻機晶圓對準）。

光學儀器（激光路徑校準）。

自動化檢測設備（CCD相機定位）。

特點

高剛性材料（如陶瓷或不銹鋼）以減少熱變形。

可選配傳感器反饋（閉環(huán)控制）。

規(guī)格

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